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IS-PM 貴金屬膜層專用設備
IS13-2
IS-PM 系(xi)列貴金屬薄膜(mo)專用(yong)鍍膜(mo)設備采用(yong)雙腔(qiang)室結構設計(ji),工 藝腔(qiang)+裝/卸載腔(qiang),是工藝可靠性與制(zhi)程效率的完美(mei)融合(he)。設備配(pei)備一 套高能離子束清(qing)洗(xi)源(yuan)(yuan)(Ionbeam Cleaning Source),多套磁(ci)控濺(jian)射(she) 源(yuan)(yuan)(Magnetron Sputtering Source),配(pei)合(he)可靠的伺服電磁(ci)推進系(xi) 統,設備模塊化程度高、穩定性好、操作簡單(dan)且維護方便。
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