IS 系列貴金屬鍍膜設備參數
型號
IS13-2
真空室尺寸
裝載腔: 494*475*510 (mm)
工藝腔: 516*475*530 (mm)
磁控濺射源
3 個
等離子清洗源
1 個
極限真空
<5.0*10-5 Pa
最高溫度
<500℃(工件加溫)
涂層區域
Φ45*60 (工件最大尺寸)
控制系統
·全自動工藝控制軟件
·參數實時監測系統
真空室結構
鍍膜腔+裝載腔
設備尺寸
2700*2280*2770 (mm)
功率
20KW
備注
設備可依據客戶需求進行定制